首先，表面光洁度和表面粗糙度是同一个概念，表面光洁度是表面粗糙度的另一称法。表面光洁度是按人的视觉观点提出来的，而表面粗糙度是按表面微观几何形状的实际提出来的。因为与国际标准(ISO)接轨，中国80年代后采用表面粗糙度而废止了表面光洁度。在表面粗糙度国家标准GB3505-83、GB1031-83颁布后，表面光洁度的已不再采用。

表面光洁度与表面粗糙度有相应的对照表。粗糙度有测量的计算公式，而光洁度只能用样板规对照。所以说粗糙度比光洁度更科学严谨。

表面光泽度则是物体表面对于光的漫反射的强弱，以肉眼看去，表面漫反射强烈，则更接近镜面效果，则光泽度高，反之，表面漫反射弱，则光泽度低，因此光泽度又称为镜面光泽度。表面光泽度的影响因素和表面的物理性能及表面使用材料的化学性能有关。检测物体表面镜面光泽度的方法需要使用到表面光泽度仪。

表面粗糙度(surfaceroughness)是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面越光滑。